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雷 射 微影
...微影技術,達到量產目的,在壓印過程中所使用之奈米模具扮演著關鍵角色。一般用來製作奈米模具的方式有許多種,如光學微影、電子束微影等技術,而其中雷射干涉微影技術 ...,本研究提出利用雷射干涉微影(LaserInterferenceLithography)進行NPSS之圖案定義,其中雷...
多次曝光雷射干涉微影以及多道光雷射干涉微影在奈米級圖案化 ...
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本研究提出利用雷射干涉微影(LaserInterferenceLithography)進行NPSS之圖案定義,其中雷射干涉微影,亦有分數種實行方式,本研究針對多次曝光干涉微影與多光束干涉微影 ...
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